圖1是2X旋片式真空泵原理圖，轉(zhuǎn)子3及7與高真空搴1及低真空室6相切，轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn)，由于彈簧9及離心力的作用，轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動(dòng)，把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進(jìn)氣嘴2到排氣閥5和從過(guò)氣管4到排氣閥門(mén)10之間分隔開(kāi)來(lái)，形成二或三個(gè)容積，并且周期性的大小變化，當(dāng)在圖示位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)A及C容積逐漸增大，被抽容積氣體沒(méi)進(jìn)氣嘴進(jìn)入泵內(nèi)，同時(shí)B及D容積逐漸減少，壓力升高，隨后沖開(kāi)排氣閥門(mén)5及10，將氣體排出真牢室外，氣體經(jīng)過(guò)油面而排于大氣之中，因?yàn)橛褪茄妥∨艢忾T(mén)的，故能防止氣體返回真空窒。當(dāng)抽氣壓強(qiáng)較高時(shí)，高低真空室的閥門(mén)都排氣，相當(dāng)于單級(jí)泵，當(dāng)真空度較高時(shí)，全部氣體進(jìn)入真空室，再由排氣閥門(mén)10排出，此時(shí)二級(jí)串聯(lián)即進(jìn)入雙級(jí)泵工作。

旋片式真空泵如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時(shí)，在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強(qiáng)超過(guò)此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強(qiáng)時(shí)，此時(shí)蒸氣被壓縮成為液體，真空泵無(wú)法排出，而混在真空油內(nèi)，使泵的性能大大降低。如果摻入適量的空氣，使蒸汽在受到壓縮時(shí)，其分壓強(qiáng)也低于泵溫的飽和壓強(qiáng)，則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去，故本系列2x-4以上的泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見(jiàn)圖1

水環(huán)式真空泵 旋片式真空泵 不銹鋼多級(jí)泵 復(fù)合式排氣閥 浮動(dòng)球閥